• Khả năng chịu nhiệt tuyệt vời
• Hàm lượng ion thấp và ít thoát khí
• Tỷ lệ xói mòn thấp trong các khoang plasma
• Khả năng chống phoi, độ bền và khả năng gia công tuyệt vời
• Giải pháp nhựa chi phí thấp nhất cũng cung cấp mức hiệu suất cao nhất trong buồng

Semitron® MPR1000 là vật liệu kỹ thuật mới được phát triển cho các ứng dụng Bán dẫn và đặc biệt hơn để sử dụng trong các ứng dụng buồng chân không như trong Etch, CVD và Ion Implant.

Vật liệu được phát triển dựa trên ba tiền đề chính:

1. Tuổi thọ - Tăng tuổi thọ trong buồng plasma so với nhựa truyền thống như polyimide (lên đến 25 lần so với polyimide trong ozone)

2. Sạch - Hàm lượng ion kim loại thấp và ít thoát khí

3. Giá trị - Chi phí sử dụng tổng thể thấp hơn so với các vật liệu truyền thống được sử dụng trong các ứng dụng buồng chân không như thạch anh, gốm sứ và nhựa kỹ thuật

Ứng dụng:

• Được sử dụng lý tưởng trong các buồng chân không dựa trên plasma
• Thường được sử dụng trong các vòng kẹp, vòng rãnh, vít, ghim và đầu vòi hoa phun tơi
• Chốt định tâm, vòng lấy nét, chất cách điện, miếng hút chân không và thanh dẫn wafer